מבוא למיקרוסקופיה אלקטרונית

ההגדלה המקסימלית של מיקרוסקופים אלקטרונים עולה כעת על פי 15 מיליון,
בשנת 1931, M. Nohr ו- E. Ruska מגרמניה שינו אוסילוסקופ במתח גבוה עם מקור אלקטרוני לפריקת קתודה קרה ושלוש עדשות אלקטרונים, והשיגו תמונות מוגדלות ביותר מפי עשרה. הם המציאו את מיקרוסקופ האלקטרונים של העברה, שאישרה את האפשרות של מיקרוסקופיה אלקטרונית המגבירה הדמיה. ב-1932, עם שיפורה של רוסקה, הגיעה יכולת הרזולוציה של מיקרוסקופים אלקטרונים ל-50 ננומטר, בערך פי עשרה מזו של מיקרוסקופים אופטיים באותה תקופה, ושברה את גבול הרזולוציה של מיקרוסקופים אופטיים. כתוצאה מכך החלו מיקרוסקופים אלקטרונים לקבל תשומת לב.
בשנות ה-1940, היל בארצות הברית פיצה על האסימטריה הסיבובית של עדשות אלקטרונים באמצעות אסטיגמציה, מה שהביא לפריצת דרך חדשה ברזולוציה של מיקרוסקופים אלקטרוניים והגיע בהדרגה לרמות מודרניות. בסין פותח בהצלחה מיקרוסקופ אלקטרוני תמסורת ברזולוציה של 3 ננומטר בשנת 1958. בשנת 1979 פותח גם מיקרוסקופ אלקטרונים גדול ברזולוציה של 0.3 ננומטר.
למרות שהרזולוציה של מיקרוסקופים אלקטרונים עדיפה בהרבה מזו של מיקרוסקופים אופטיים, קשה לצפות בהם באורגניזמים חיים בשל הצורך לעבוד בתנאי ואקום, והקרנת קרן אלקטרונים עלולה לגרום גם לנזק קרינה לדגימות ביולוגיות. נושאים אחרים, כמו שיפור בהירות רובי האלקטרונים ואיכות עדשות האלקטרונים, דורשים גם הם מחקר נוסף.
מיקרוסקופ אלקטרונים סורק פליטת שדה
שימוש עיקרי: למכשיר זה יש רזולוציה גבוהה במיוחד והוא יכול לצפות ולעבד תמונות אלקטרונים משניות ותמונות אלקטרונים משתקפות של מורפולוגיות שונות של משטח מוצק של מדגם. מצויד בספקטרומטר אנרגיית רנטגן בעל ביצועים גבוהים, הוא יכול לבצע בו-זמנית ניתוח איכותי, חצי כמותי וכמותי של רכיבי מיקרו, קו ואלמנטים פני השטח על פני הדגימה, ויש לו את היכולת לנתח באופן מקיף מורפולוגיה ורכיבים כימיים.
קטגוריית מכשירים: 03040702/מכשירים/מכשירים אופטיים/אופטיקה אלקטרונית ומכשירי אופטיקה יונים
מידע מחוון: רזולוציית תמונת אלקטרונים משנית: 1.5nm מתח מואץ: 0-30kV מקדם הגברה: 100-500000 פעמים מרחק עבודה מתכוונן רציף: 5-35mm הטיה מתכווננת רציפה: -5 מעלות ~ ספקטרומטר קרני רנטגן 45 מעלות: רזולוציה: 133eV טווח ניתוח: BU
מידע מצורף: מכשיר ציפוי זהב ופחמן מערכת עיבוד תמונה של מערכת ISIS פיזור לאחור
מיקרוסקופיה אלקטרונית סורקת פליטת שדה, בשל הרזולוציה הגבוהה שלה, מספקת אמצעי ניסוי אמין לחקר ננו-חומרים. בנוסף, התקבלו תמונות משביעות רצון הן לחומרים מוליכים למחצה והן למבודדים. תצפיות מורפולוגיות נערכו על סרטים דקים מוליכי-על, חומרים מגנטיים, חומרי סרט דק שגדלו על ידי אפיטקסיה של קרן מולקולרית וחומרים מוליכים למחצה. בוצע ניתוח הרכב מיקרו על חומרים שונים, והתקבלו תוצאות משביעות רצון